У росії запустили виробництво мемс-датчиків для перспективних систем супутникової навігації і автопілотів

22

“російські космічні системи «(ркс, входить в держкорпорацію» роскосмос”) почали виробництво нових мікроелектромеханічних систем для перспективних супутників. Крихітні механічні системи на кристалі багаторазово зменшують розміри автономних навігаторів, що для супутників є життєво важливим. Нові навігатори забезпечать високоточні автономні маневри як кубсатам на орбіті землі, так і супутникам в далекому космосі.

Ілюстрація одного з багатьох варіантів мемс

Навігація в космосі-це нетривіальне завдання. Інерційні датчики прискорення і руху дозволяють космічним об’єктам здійснювати точні маневри навіть без зовнішніх опорних сигналів. Це важливо навіть поблизу землі, де є можливість зчитування координат gps. Наприклад, при входженні спускається апарату в атмосферу навколо нього утворюється настільки щільний іонізований шар газу (плазми), що ніякої зовнішній сигнал туди не проб’ється протягом декількох хвилин, і це може стати критично важливим для роботи гальмівних систем.

Інерційні датчики вирішують такі проблеми. Зокрема, найточніші російські датчики-акселерометри з кварцовим маятником всередині встановлені на повертаються космічних кораблях «союз мс». Подібні та інші мікроелектромеханічні датчики-одноосьові мемс – з 2007 року розробляють і випускають «російські космічні системи». Тепер в ркс налагодили автоматизоване виробництво багатоосьових датчиків мемс з різних структур-кремнієвих маятників з балковим підвісом, з торсіонним підвісом, маятників з магнітоелектричним зворотним зв’язком, маятників для інклінометра, кільцевих кремнієвих резонаторів для гіроскопа.

До теперішнього часу багатоосьові датчики в ркс збиралися фактично вручну на етапі з’єднання декількох кристалів в одне рішення. Нова технологія дозволила автоматизувати процес при з’єднанні декількох кремнієвих пластин в один умовно монолітний кристал.

«холдинг ркс освоїв формування складних 3d-мікроструктур із застосуванням зрощування пластин — це дозволить створювати багатоосьові акселерометри і гіроскопи на одному герметизованому вакуумованому кристалі за технологією wafer-level packaging, коли інерціальна система виконана в безкорпусному варіанті», — йдеться в прес-релізі «роскосмосу».

У майбутніх розробках супутникових навігаторів і не тільки (наприклад, для земних безпілотних платформ), нові системи орієнтації доповнять класичні — по зірках або по магнітному полю землі, дозволивши значно знизити вагу і енергоспоживання як блоків навігації, так і супутників.